2

对准精度

±0.5um

3

晶圆尺寸范围

2-8寸(根据客户情况定制合适的尺寸)

4

光刻版尺寸

4-9寸(根据客户情况定制合适的尺寸)

5

找平机构

电动三点式微力找平

6

晶圆片厚补偿

三点测片厚（非接触式测量，精度±2um），电动楔形补偿

7

设备电压

AC 220V 50HZ

8

设备气源要求

正压大于0.35Mpa，负压大于55KPa

9

设备最大功率

4.5KW

10

曝光灯波长

365nm-405nm-435nm

11

曝光灯最大光功率

90mW/平方厘米

12

曝光灯平行半角

1.5度

13

曝光灯均匀性

>= 97%（8寸的95%）

14

曝光灯光偏角

<=0.5度

15

曝光方式

接触式/接近式

16

找平精度

±2um

17

分辨率

接触式1.0um，接近式3.0um(正胶厚度1um以内，曝光间隙5um)

18

视觉识别精度

0.2um

19

设备NG率

不大于0.5%

20

升降平台重复精度

±0.5um

21

碎片率

低于十万分之一

22

UVW平台重复精度

±0.5um

23

机械手上料精度

±100um

24

平均无故障时间

连续运行144小时故障不超过1小时

25

平均换型时间

90秒

26

精度异常概率

低于0.001%

27

设备内温度波动

±0.2℃

28

设备尺寸

长X宽X高= 1959mmX 1300mmX 2252mm

（不带报警灯2100mm，拆掉FFU和报警灯1990mm）

29

设备重量

960Kg